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據(jù)報道，維也納技術(shù)大學(xué)（TU Wien）的研究人員開發(fā)了一種輕型光學(xué)系統(tǒng)，用于對表面進(jìn)行微米級精度的三維（3D）檢測。該測量工具可以大大加強(qiáng)高科技產(chǎn)品的質(zhì)量控制檢查，包括半導(dǎo)體芯片、太陽能電池板和消費(fèi)電子產(chǎn)品，如平板電視。這項研究發(fā)表在《應(yīng)用光學(xué)》（Applied Optics ）雜志上。
研究人員將共焦傳感器與一個高度集成的快速轉(zhuǎn)向鏡相結(jié)合，測量直徑僅為32毫米。他們還開發(fā)了一種重建過程，利用測量數(shù)據(jù)創(chuàng)建樣品表面形貌的3D圖像。3D測量系統(tǒng)非常緊湊，可以安裝在計量平臺上，作為與機(jī)械臂的連接，并通過主動反饋控制補(bǔ)償樣品和測量系統(tǒng)之間的振動。
“這個系統(tǒng)最終會給高科技制造業(yè)帶來各種好處，”Wertjanz說?！霸诰€測量可以實現(xiàn)零故障生產(chǎn)過程，這對小批量制造特別有用。這些信息還可以用于優(yōu)化制造工藝和機(jī)床設(shè)置，從而提高整體產(chǎn)量?！?/p>
研究人員目前正致力于在計量平臺上落地應(yīng)用該系統(tǒng)，并將其與機(jī)械臂結(jié)合。這將使他們能夠測試基于機(jī)器人的精密三維測量的可行性，在容易振動的環(huán)境中，如工業(yè)生產(chǎn)線上的自由曲面。www.lanhaiyitong.com
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