三坐標測量儀是一種集光、機、電、計算機為一體的高精度、高效率的多功能精密設(shè)備，如果維護及保養(yǎng)做得好，就能延長機器使用壽命，并使精度得到保障，故障率降低。
三坐標測量儀價格昂貴，做好日常維護保養(yǎng)和排除常見故障可以節(jié)省大量費用。為使客戶更好地掌握和用好測量機，現(xiàn)列出測量機簡單的維護及保養(yǎng)規(guī)程。
1．三坐標測量機對環(huán)境要求比較嚴格，應(yīng)按合同要求嚴格控制溫度及濕度；
2．三坐標測量機使用氣浮軸承，理論上是永不磨損結(jié)構(gòu)，但是如果氣源不干凈，有油．水或雜質(zhì)，就會造成氣浮軸承阻塞，嚴重時會造成氣浮軸承和氣浮導(dǎo)軌劃傷，后果嚴重。所以每天要檢查機床氣源，放水放油。定期清洗過濾器及油水分離器。還應(yīng)注意機床氣源前級空氣來源，（空氣壓縮機或集中供氣的儲氣罐）也要定期檢查；
3．測量機的導(dǎo)軌加工精度很高，與空氣軸承的間隙很小，如果導(dǎo)軌上面有灰塵或其它雜質(zhì)，就容易造成氣浮軸承和導(dǎo)軌劃傷。所以每次開機前應(yīng)清潔機器的導(dǎo)軌，金屬導(dǎo)軌用航空汽油擦拭（120或180號汽油），花崗巖導(dǎo)軌用無水乙醇擦拭。
4．切記在保養(yǎng)過程中不能給任何導(dǎo)軌上任何性質(zhì)的油脂；
5．定期給光桿、絲桿、齒條上少量防銹油；
6．在長時間沒有使用測量機時，在開機前應(yīng)做好準備工作：控制室內(nèi)的溫度和濕度(24小時以上)，在南方濕潤的環(huán)境中還應(yīng)該定期把電控柜打開，使電路板也得到充分的干燥，避免電控系統(tǒng)由于受潮后突然加電后損壞。然后檢查氣源、電源是否正常；
7．開機前檢查電源，如有條件應(yīng)配置穩(wěn)壓電源，定期檢查接地，接地電阻小于4歐姆。
8、經(jīng)常檢查光柵尺表面是否有水滴（尤其是開關(guān)空調(diào)后），如果有水，一定要用干棉花擦拭干凈。
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